德國赫優訊自動化系統有限公司 供稿

半導體行業的未來前景相當樂觀，預計2022年將增長9%左右。但是，由于持續的冠狀病毒大流行等影響，該行業一再面臨供應瓶頸。德國赫優訊通過開發一種適用于半導體行業的新型comX通訊模塊，為應對當前形勢提供了支持。

赫優訊通訊模塊已被許多成功的公司用于工業自動化超過 25 年，它們能夠在一次設計中支持各種主流的實時以太網協議作為主站或從站，這在機器人控制器、PLC或驅動器等設備制造商中非常受歡迎。

目前，EtherCAT已成為半導體制造領域的一種主要通訊協議，實時以太網協議通常通過IP地址遠程訪問。對于半導體行業，ETG組織（EtherCAT Technology Group）定義了一個特殊的配置文件，該配置文件在ETG.5003“半導體設備配置文件”中描述。Applied Materials、Lam Research和Tokyo Electron等半導體行業機器制造商積極參與了該標準的制定，這使得不同設備的互操作變得容易。

comX 51CA-RE\R基于經典的comX 51通訊模塊設計，該設計在市場上廣受好評。通過添加物理地址旋轉編碼開關，可以根據通用設備配置文件（CDP，ETG.5003-1）設置顯式設備ID。赫優訊提供的硬件和軟件相互作用，使用戶能夠根據通用設備配置文件開發設備，這構成了根據SDP（特定設備配置文件，ETG.5003-2xxx）進行設備開發的基礎。comX 51CA-RE\R可以廣泛應用于半導體行業：

● 減排和子Fab系統

● 直流和射頻發電機

● 質量流量控制器

● 過程控制閥

● 射頻匹配

● 粗抽泵

● 溫度控制器

● 渦輪泵

● 真空壓力表

在芯片短缺時刻，各個廠商迅速做出反應至關重要。借助comX 51CA-RE\R，赫優訊正在積極響應擴大現有生產設施和提升半導體生產能力的需求。半導體行業相關設備制造商可以信賴赫優訊在EtherCAT方面的多年經驗，也可以信賴comX模塊一貫的可靠性：

● 用于半導體制造設備的EtherCAT從站網絡接口

● 根據ETG.5003-1通用設備配置文件開發

● 具備現成網絡連接器的完整從站接口